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硅透镜阵列

简述： 利用硅基半导体芯片加工工艺（光刻、干法刻蚀、光学镀膜、晶圆切割等），将球面、非球面模板完整转移到硅基片表面，制备出了硅基球面、非球面透镜及透镜阵列。
应用： 数据中心100G、400G、800G等高速光模块；特殊光学器件定制应用。
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