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硅基V槽

简述 利用硅基半导体芯片加工工艺(光刻、湿法刻蚀、金属沉积、晶圆切割等),在6英寸晶圆上加工出高精度尺寸的V型槽。产品具备精度高,可靠性强,易于大批量生产等特性。
应用 数据中心100G、400G、800G等高速光模块;特殊光学器件定制应用。
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